电子柱式气动测量仪示值误差的不确定度评定

作者：王晓伟; 贾晓杰; 宋欣颖

来源：精密制造与自动化, 2018, (03): 57-59.

DOI：10.16371/j.cnki.issn1009-962x.2018.03.016

• 电子柱式气动测量仪
• 示值误差
• 不确定度评定

电子柱式气动测量仪是一种测量精度高、测量范围大、能非接触测量出微小尺寸变化的精密测量仪器,配上相应的气动测量头,可以测量多种参数。通过用3等量块直接法对分度值为0.2μm电子柱式气动测量仪示值误差进行测量的不确定度评定,表明此方法能够很好的满足气动测量仪示值误差测量的要求。

• 单位
  辽宁装备制造职业技术学院; 河南省计量科学研究院