超精密工件台的运动控制

作者：张尚盈; 陈学东; 赵慧; 严天宏

来源：华中科技大学学报(自然科学版)科技大学, 2008, (10): 37-40.

DOI：10.13245/j.hust.2008.10.024

• 超精密工件台
• 运动控制
• 主从控制
• 力解耦
• 精度 supper-precision stage
• motion control
• master/slave control
• force decoupling
• precision

描述了一种应用于集成电路(IC)制造的超精密工件台的运动控制.介绍了超精密工件台主从控制原理,它结合了粗动台和精动台两者的优点以实现运动控制的大行程和高精度.给出了超精密工件台机电系统基于闭环控制的动力学辨识方法.利用环路整形技术,研究了串联PID控制器和鲁棒控制器的自动综合方法.仿真结果表明该超精密工件台的定位精度可达到10 nm.

• 单位
  华中科技大学; 武汉科技大学; 数字制造装备与技术国家重点实验室; 自动化学院