文中提出了一种基于同轴空心激光检测圆柱形内孔圆度误差的新方法。根据圆锥透镜的几何光学特性和圆柱内孔的物理结构特征,设计了一种一次反射检测光学系统,并进行了实验,实现了对某圆柱内孔圆度误差的测量。采用最小二乘法分析了测量数据,结果表明:检测精度可达0.1μm。该方法具备非破坏性、非接触、高精度、低成本等优点,可广泛用于检测形变和位置误差。
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