Al_2O_3/PMMA交叠薄膜制备及OLED封装性能

作者：周雄图; 陈桂雄; 孙钒; 吴朝兴; 郭太良; 张永爱^*

来源：发光学报, 2021, 42(01): 118-125.

• 薄膜封装
• 原子层沉积
• 喷墨打印
• 水汽透过率
• OLED

可靠的薄膜封装对提高有机发光二极管（Organic light-emitting diode,OLED）器件寿命至关重要。本文采用原子层沉积实现了致密Al2O3薄膜的低温制备,并研究了喷墨打印PMMA墨水在Al2O3薄膜的均匀成膜以及Al2O3/PMMA交叠薄膜的水汽阻隔性能。实验结果表明,当打印分辨率为300 DPI时,PMMA墨水在Al2O3薄膜表面均匀成膜,Al2O3/PMMA交叠薄膜具有良好的水汽阻隔性能和光学透过率。钙膜电学测试结果显示,3对Al2O3/PMMA薄膜的水汽透过率低至8.34×10-5 g/（m2·d）,而光学透光率在可见光范围内高于95%,表现出良好的OLED器件薄膜封装性能。

• 单位
  福州大学