LED用蓝宝石平片湿法清洗研究

作者：罗荣煌

来源：电子元器件与信息技术, 2022, 6(06): 22-28.

DOI：10.19772/j.cnki.2096-4455.2022.6.006

• 图形化蓝宝石衬底(PSS)
• SPM
• 湿法清洗
• 正交试验

目前的工业化生产中主要通过化学机械抛光来清洗平片，经过抛光后的平片表面布满悬挂键，表面活性高，极易吸引污染物。本文对LED用蓝宝石平片湿法清洗工艺展开研究，通过正交试验，研究清洗参数对蓝宝石平片良率、明缺和暗缺的影响。实验结果表明：当去离子水/双氧水/硫酸配比1:1:3.5、时间10min、温度110℃时，有着最好的清洗效果。使用优化后的清洗工艺参数，进行千片级的清洗验证，良率达到93%，表面残留颗粒降至5颗以内。本研究揭露了蓝宝石平片的相关清洗方法与参数，并进行了批量清洗验证，对后续工业化清洗提供了参考。