金刚石薄膜转移装置及转移工艺和基于间接预拉伸金刚石薄膜应变装置及构建方法

作者：刘胜; 王诗兆; 郭宇铮; 沈威; 吴改; 孙亚萌; 汪启军; 东芳

来源：2022-01-25, 中国, ZL202210087749.9.

本发明公开了金刚石薄膜转移装置及转移工艺和基于间接预拉伸产生金刚石薄膜应变的装置及产生方法。该转移装置包括施主装置和受主装置。基于间接预拉伸产生金刚石薄膜应变的装置为受主装置。所述金刚石薄膜转移装置中,转印图章通过光敏/热敏释放粘结膜吸附位于施主基板上的金刚石薄膜,并在转移后通过光/热释放待转移薄膜于受主基板上。所述的基于间接预拉伸产生金刚石薄膜应变的装置及产生方法中,通过位移/力/热/电等方式使受主基板张开带动金刚石薄膜拉伸,从而实现薄膜产生应变。本发明可实现快速批量转移待转移薄膜；同时可适应待转移薄膜之间不同的间距,提高薄膜转移基板的通用性,并填补了批量金刚石薄膜拉伸实现的空白。

• 单位
  武汉大学