碲镉汞激光线刻蚀研究

作者：张赫; 蒋鸿儒^*; 潘晨博

来源：合肥工业大学学报(自然科学版), 2021, 44(10): 1359-1362.

• 碲镉汞(HgCdTe)
• PN结
• 激光束诱导电流(LBIC)
• 飞秒激光打孔
• 脉冲时间

飞秒激光对碲镉汞(HgCdTe)材料刻蚀形成PN结。文章进行了飞秒激光刻蚀试验,使用1 kHz飞秒激光在P型HgCdTe上刻蚀形成线刻蚀区域,并采用激光束诱导电流(laser beam induced current, LBIC)技术对刻蚀区域进行光电流性质探测。试验结果表明,LBIC扫描信号的峰形表现出明显的方向性,刻线两侧的光电流信号存在明显差异。

• 单位
  上海大学; 中国科学院上海高等研究院