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摘要
微纳检测技术旨在以微/纳米级的精度测量加工表面特征，在加工过程的控制、建立表面特征与功能间的联系等方面具有重要作用。光学测量方法具有高精度、快速和无损的特点，是微纳检测技术研发的重要内容。本文介绍了表面形貌和薄膜的光学测量方法，并对各方法的特点及应用场合进行了对比总结。微纳制造技术加工的表面具有结构日益小型化、特征日益复杂化的特点，因此开发多模式测量系统是微纳检测技术的发展趋势。
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单位天津大学; 精密测试技术及仪器国家重点实验室
