SiC_F的热解碳涂层的制备

作者：赵锴; 于新民; 罗发; 朱冬梅; 周万城

来源：稀有金属材料与工程, 2007, S2: 690-692.

• 热解碳
• 沉积速率
• 形貌
• 丙烯 pyrocarbon
• morphology
• propylene
• deposition rate

以C_3H_6为源气体,N_2为稀释气,在800℃～1200℃温度范围内,SiC纤维上进行了热解碳的沉积。研究了沉积温度、系统压力和P_(N_2)/P_(C_3H_6)对热解碳沉积速率和沉积层形貌的影响。结果表明:在沉积温度低于900℃,系统总压小于1 KPa条件下,沉积速率低,难以进行热解碳的沉积。随着沉积温度、系统压力升高,沉积速率升高,沉积层形貌发生改变。过低的P_(N_2)/P_(C_3H_6)导致不均匀的热解碳沉积形貌,局部有碳颗粒的生成。沉积温度为1000℃、系统总压10KPa左右、P_(N_2)/P_(C_3H_6)为2:1的条件下可获得均匀致密的热解碳沉积层。反应热力学和动力学...

• 单位
  西北工业大学; 凝固技术国家重点实验室