随着太赫兹技术的发展，由于太赫兹THz(Terahertz)频段具有丰富的频谱资源和相对宽的带宽优势，因此太赫兹频率源表现出广泛的应用前景，如超高速短距无线/有线通信、雷达、医疗、成像和遥感传感器等。本文总结了硅基太赫兹频率源的最新研究成果和存在的问题，概述了近二十年来太赫兹倍频器、太赫兹振荡器、太赫兹天线、太赫兹辐射源、太赫兹辐射源阵列等方面的研究进展，并对硅基太赫兹频率源的发展方向和未来热点进行了展望。
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