250mm口径低温泵设计

作者：曾环; 邓家良; 孙志和

来源：真空, 2020, 57(02): 13-16.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2020.02.03

• 低温泵
• 制冷机
• 吸附阵
• 热负荷
• 有限元分析

介绍了250mm口径低温泵的设计及计算,详细列出壳体、吸附阵、冷屏、障板等部件的设计。文中对壳体强度,冷屏、障板和冷凝板的热负荷进行详细计算。通过对冷屏、障板和吸附阵进行温度场分析,校核了计算的准确性,同时又为实际试验提供了理论依据和温度参考。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十六研究所; 安徽万瑞冷电科技有限公司