大尺寸偏光片缺陷检测技术

作者：石鹏飞; 王志诚; 胡文平; 宋俊耀

来源：电子工艺技术, 2023, 44(04): 55-58.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2023.04.015

• 偏光片
• 大尺寸
• 缺陷检测

针对不断增大的偏光片尺寸需求，结合现有中小尺寸检测工艺，设计研发了大尺寸偏光片缺陷检测工艺，解决了行业大尺寸偏光片检测自动化的问题。