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摘要
基于MEMS(微电子机械系统)技术的微型电场传感器凭借其体积小、功耗低、可批量化制造等优点，在诸多领域得到广泛应用。MEMS电场传感器可用于静电场与交流电场检测，但目前存在电场检测频率范围较窄、测量不同频率电场灵敏度不一致的问题。对此，根据对传感器输出信号的系统性分析，提出了一种适用于宽频域电场检测的方法。理论上，在不考虑放大电路带宽限制和信号饱和的情况下，该方法检测的电场频率没有上限，并且对不同频率电场的检测灵敏度一致。实验结果显示：用该方法检测0～7 kHz频率范围内的电场，具有良好的线性度和准确度，传感器的灵敏度保持了很好的一致性，验证了该方法的合理性。
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单位中国科学院; 中国科学院大学
