功能梯度的类金刚石碳薄膜及其制备方法和制品

作者：赵可沦; 王永宁; 彭继华; 刘海华; 宋鹏涛

来源：2016-08-08, 中国, ZL201610642234.5.

本发明涉及一种功能梯度的类金刚石碳薄膜及其制备方法和制品。该功能梯度的类金刚石碳薄膜的制备方法包括：(1)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在工件的表面沉积金属基底层；(2)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在所述金属基底层的表面沉积金属氮化物过渡层；(3)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述金属氮化物过渡层的表面沉积金属碳-氮化物梯度层；(4)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述金属碳-氮化物梯度层的表面沉积所述类金刚石碳装饰层。本发明提供的制备方法制得的类金刚石碳薄膜具有高光泽度、高界面结合强度、高表面硬度的优点,并且耐磨损、耐腐蚀、防刮花性能优良。