基于流量分比控制技术的多路配气系统的研究

作者：韦杨杰; 高先和^*; 杨冰洁; 朱小漫; 刘凯; 汪海

来源：菏泽学院学报, 2023, 45(02): 76-82.

DOI：10.16393/j.cnki.37-1436/z.2023.02.003

• 气体流量控制
• 滞后补偿
• 数据融合处理算法
• 芯片制造

针对国内芯片制造业中对标准气体的需求，在传统的单路配气系统上，研发了多路输入混合标准气体配置系统.运用热式气体毛细管温度衰减测量技术、气体质量流量分比和气体滞后性补偿等原理，构建了以主控制器、气体流量控制系统为一体的闭环配气控制系统.同时通过不同量程的稀释气体的配置，对比了基于数据融合算法和均值滤波算法下的气体流量控制误差，分别为±0.3%和±0.8%.实验表明该系统稳定，误差范围在±0.3%,响应时间不超过30 s.

• 单位
  合肥学院