32信道聚合物阵列波导光栅的制作与测试

作者：许英朝; 张国伟; 鄂书林; 唐晓辉; 张大明

来源：光通信技术, 2006, (06): 22-23.

DOI：10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2006.06.007

• 阵列波导光栅
• 聚合物
• 回融技术

对一个32通道的聚合物阵列波导光栅进行了研究和制作。经过旋涂、光刻、反应离子刻蚀等工艺过程,利用Al掩膜技术和回融技术进行了器件的制作。实验结果表明,回融技术使样本的波导表面的均方根粗糙度降低了约0.02μm。测试结果表明,器件的结构指标与理论设计值基本相符,并且波导在C波段上实现了单模传输。器件的插入损耗约为35dB,相邻通道串扰小于-20dB,很好地实现了波分复用功能。

• 单位
  中国科学院研究生院; 吉林大学; 集成光电子学国家重点实验室; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所