柔性聚合物基材上三维纳米间隙的制作及互连

作者：李兴辉; SelvaprabaSelvarasah; Chia LingChen; MehmetR Dokmeci

来源：微纳电子技术, 2011, (10): 674-678.

• 柔性基材
• 纳米间隙
• 介质电泳
• 单壁碳纳米管
• 三维
• 聚对二甲苯 flexible substrate
• nano-gap
• dielectrophoresis
• single-walled carbon nanotube
• three dimension
• parylene

利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构。室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验。在间距80 nm的间隙电极间,实现了碳纳米管的互连。I-V特性测试显示,互联后电极之间表现出了较好的线性导电特征。当使用的碳纳米管电泳液浓度为0.004 g/mL时,通过介质电泳方法得到连接于两电极间的碳管束的电阻约为13 kΩ。研究结果表明,这种柔性三维纳米间隙结构有望应用于柔性电子学、分子生物学和纳米材料科学等领域。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十二研究所; 东北大学