基于显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测系统研究

作者：王思琪; 魏绍鹏; 丁涛; 贺秋冬

来源：湖北工程学院学报, 2019, 39(03): 49-52.

• 显微机器视觉
• MEMS微构件
• 表面缺陷
• 检测

针对MEMS微构件表面缺陷的问题,分析了其表面缺陷的基本特征、种类和检测方法,提出了利用显微机器视觉技术来检测MEMS微构件表面缺陷,并对显微机器视觉检测关键技术进行了探析,对开展显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测的研究具有一定的参考价值。

• 单位
  湖北工程学院