铜金属表面制备类金刚石薄膜及其力学性能与腐蚀性能的研究

作者：马会中; 丁后文; 张兰^*

来源：热加工工艺, 2024, (02): 86-89+96.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.20211268

• 铜金属
• RF-PECVD
• 射频功率
• 力学性能
• 耐腐蚀性能

采用厚度0.025 cm纯铜金属箔片为基体，甲烷作为碳源，氢气为工作辅助气体，通过RF-PECVD法，改变射频功率制备类金刚石薄膜(DLC)涂层，研究了射频功率对镀DLC薄膜铜金属微观形貌、硬度、摩擦系数和弹性模量的影响。通过SEM、EDS、拉曼光谱、AFM原子力显微镜进行微观表征。采用弹性模量测试仪、旋转摩擦测试仪、显微硬度计对镀DLC薄膜的铜金属进行研究。结果表明，射频功率为200 W时DLC薄膜存在且均匀分散在纯铜基底的表面。镀DLC薄膜的铜金属弹性模量最大为75 GPa，平均摩擦系数最低为0.11，显微硬度最大达到15.4 GPa。200 W射频功率下镀DLC薄膜铜金属腐蚀电位为-0.178 V，比纯铜金属提高了25.8%，腐蚀电流密度为1.429×10-8A·cm-2，相比于纯铜金属降低了近一半。

• 单位
  郑州大学