基于SWOT分析国内半导体装备行业在新形势下的发展战略

作者：周杰

来源：今日财富(中国知识产权), 2022, (12): 16-18.

<正>21世纪以来，随着我国半导体产业的发展，半导体设备制造和半导体器件生产行业在一些细分领域取得了实质性突破。但当前我国半导体行业仍然发展不平衡，且与国外领先技术仍有一定差距。本文通过SWOT分析，剖析我国半导体装备行业的发展状况、资源配置和机遇与挑战，并对我国半导体行业如何把握发展趋势和突破瓶颈提出建议。一、国内半导体装备行业概述(一)半导体设备半导体设备用于生产制造半导体器件，业内称为“机台”。本文讨论的半导体设备主要针对晶圆工艺流程中的FEOL（前道工序，Front End of Line）展开。FEOL涉及半导体设备的核心工艺，如刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积、外延生长、离子注入和光刻等。