基于玻璃钝化结构的梁式引线肖特基T型对管芯片的研制

作者：汤寅^*; 熊威; 王霄; 杨勇

来源：电子元件与材料, 2022, 41(12): 1312-1317.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.0332

• 梁式引线
• 玻璃钝化
• 低势垒
• 肖特基二极管
• 检波

基于玻璃钝化结构的梁式引线集成器件机械强度高、寄生参数小，在高频检波、混频电路中有重要应用。通过梯度式腐蚀法获得了V型玻璃槽结构，采用低应力玻璃钝化工艺实现槽内覆盖填充，并结合低势垒蒸发技术实现了高一致性的玻璃钝化结构Si基梁式引线肖特基T型对管芯片的研制。研制的芯片正向压降VF≤350 mV,结电容Cjo≤0.1 pF,击穿电压VBR≥4 V,动态电阻RD≤20Ω,电压灵敏度Sv≥17 mV/μW,对管芯片的关键电参数偏差小于5%。该技术途径可应用于梁式引线四管堆等多种集成结构形式，可有效促进电路组件的小型化发展。