热处理对钽芯及钽电容器电性能的影响

作者：郑传江^*; 潘齐凤; 胡鑫利; 敬通国; 龙继云

来源：电子元件与材料, 2022, 41(10): 1125-1132.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1609

• 热处理
• 阳极钽芯
• Ta2O5介质氧化膜
• 钽电容器

在实际使用过程中，钽电容器常因电容量、损耗和漏电流发生漂移而失效。为了改善钽电容器的电性能稳定性，系统研究了在空气环境中热处理对形成后的钽芯及钽电容器电性能的影响。采用阳极氧化法在烧结后的钽块表面形成Ta2O5介质氧化膜，然后对阳极钽芯进行热处理。研究结果表明：热处理对钽芯的击穿电压和漏电流传导机理无明显影响；热处理后的钽芯表面Ta2O5介质氧化膜的微观形貌未发生明显变化；经过适当热处理且补形成后的阳极钽芯的漏电流及所制备的钽电容器电容量稳定性、损耗和漏电流均得到了明显改善；合适的热处理工艺为300℃/45～60 min。