国内CFD仿真技术在电子厂房洁净室的应用研究现状及趋势分析

作者：魏兰^*

来源：洁净与空调技术, 2022, (02): 9-13.

• CFD
• 洁净室
• 气流组织
• 污染物扩散
• 趋势

通过对近年来国内CFD仿真技术在电子工厂洁净室应用的深入分析，从洁净室气流组织、大型洁净室模拟等效及简化方法、洁净室污染物扩散研究等几个方面，总结了目前CFD仿真技术在电子工厂洁净室应用研究现状。结合目前应用研究的不足，指出了CFD仿真技术在国内电子工厂洁净室的发展趋势。

• 单位
  中国电子工程设计院