化学气相沉积(CVD)工艺对ZnS力学性能影响的研究

作者：李冬旭; 魏乃光; 蒋立朋; 黎建明; 杨海; 张鹏飞; 牛延星; 田智瑞; 郭立; 杨建纯; 刘晓华

来源：人工晶体学报, 2019, 48(08): 1430-1437.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.08.009

• 化学气相沉积法(CVD)
• 晶粒尺寸
• 喷射结构
• 力学性能

介绍了化学气相沉积法(CVD)制备ZnS过程中,CVD工艺对材料相关力学性能的影响和控制方法。通过X射线衍射分析、扫描电镜和金相显微镜等手段研究了不同工艺下制备的ZnS样品材料的内部结构和缺陷,提出了ZnS生长过程中晶粒尺寸和材料缺陷的控制方法。研究结果表明,设计合理的喷嘴结构,营造稳定的CVD生长环境,提高CVD ZnS毛坯一致性,抑制材料缺陷形成,有助于提升ZnS材料力学相关性能。