<正>(上接2010年第1期88页)除了涡轮分子泵和钛升华泵各自的优缺点外。涡轮分子泵还由于机械结构与高速旋转的原因,使得它要获得大的抽速较为困难。而钛升华泵造价低,而且易于实现大抽速。目前它的抽速在高真空或超高真空获得设备中是较大的一种,而使用和维护都十分方便。只是由于排除惰性气体性能差而限制了它单泵进入超高真空。考虑到
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