气质联用仪在六氟化硫杂质痕量分析中的应用

作者：于洋; 任越

来源：低温与特气, 2021, 39(04): 47-50.

• 气质联用
• 气体分析
• 六氟化硫

通过实验阐明了气质联用在气体分析中的应用,对气体中不同浓度六氟化硫的线性、数据重复性以及灵敏度进行考察,确定了气质联用仪对气体中六氟化硫杂质痕量分析的可靠性。