科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
静电悬浮位置控制系统具有非线性、时变性的特点，传统的控制方法不能有效抑制扰动的影响。针对该问题提出了一种神经网络与PID相结合的RBF-PID控制策略。以球形样品为例分析其受力情况，推导出静电悬浮位置控制系统的机理模型。搭建基于RBF-PID控制器的静电悬浮位置控制系统，并根据仿真结果实时在线调整控制参数。仿真结果表明，当样品带电量从10–9 C突变至3×10–9 C时，RBF-PID控制器只需0.12 s即可使样品达到稳定状态。实验结果表明，当样品处于加热状态时，实时调整参数后系统的平均绝对误差为0.0416 mm，控制效果比传统PID控制策略提高了70%。所提出的控制方法辨识精度高，具有比传统PID方法更强的鲁棒性和稳定性。
- 单位
