在高压CO2流体环境条件下,以具有深宽比的MEMS非硅微结构区域为研究对象,利用Matlab软件对电沉积镍过程中的电场和流场进行数值分析。结果表明,深宽比对微结构入口处电场电力线弯曲程度和稠密度有影响,导致入口处的电流密度分布不均,使得微结构中央电力线的密度与其边界处电力线密度的差异变大;具有深宽比结构的微器件,高压CO2流体环境可以提高镍离子的传质速度,进而改善镍离子的扩散传质能力。
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