单片机控制的准分子专用组合电磁阀门

作者：梁勖; 游利兵; 黄德文

来源：激光杂志, 2010, (01): 32-33.

• 准分子
• 控制
• 配气
• PIC

介绍了一个用于准分子激光器自动充排气的系统,它由单片机控制的组合电磁阀门构成。文章阐明了系统、机械、电气和软件的结构。在KrF准分子激光器上实现了重复精度较好的自动配气。整体结构紧凑、性能稳定,简化了充配气操作,还可以用它实现自动微调激光气体成分,达到延长工作气体寿命的目的。

• 单位
  中国科学院安徽光学精密机械研究所; 中国科学院，安徽光学精密机械研究所