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摘要
一种非对称间隙悬臂梁阵列式MEMS心音传感器,涉及生物医疗器件领域,所述心音传感器的微结构包括多个间隙悬臂梁结构,多个间隙悬臂梁结构由环形支撑体向四周呈放射状设置；每个间隙悬臂梁结构均包括机械层悬臂梁、压电层悬臂梁和质量块；压电层悬臂梁通过导线连接心音传感器的调理电路板,且多个压电层悬臂梁输出的信号并联；压电层悬臂梁的宽度小于机械层悬臂梁,并位于机械层悬臂梁上方,二者之间留有距离,二者两端分别连接环形支撑体和质量块；多个质量块尺寸不同,并按照尺寸顺序依次排布。本申请心音传感器在提高灵敏度的同时拓宽了工作频带,进一步提高信噪比,测试精度更高。
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