AlGaInP红光LED的复合分布式布拉格反射镜的生长优化

作者：刘仲明; 牛萍娟; 王迪^*; 刘宏伟; 卢天博; 于丹丹; 郏成奎

来源：固体电子学研究与进展, 2018, 38(06): 434-438.

DOI：10.19623/j.cnki.rpsse.2018.06.009

• 复合分布式布拉格反射镜设计
• 红光发光二极管
• AlGaInP材料
• 外延生长

复合分布式布拉格反射镜(DBR)可以拓展反射图谱的宽度,从而能够反射更长波长的光,通过设计不同的波长组合得到的复合分布式布拉格反射镜可以优化其反射率。采用金属有机化合物化学气相沉淀法生长复合分布式布拉格反射镜样品,并使用光致发光光谱测试法进行反射图谱测试,得到不同的反射谱。对比结果后发现红光发光二极管(LED)的亮度随着反射谱的拓宽而增加,垂直反射占主导地位意味着主反射谱的个数不能减小。通过优化设计及测试比较最终选择了最优复合分布式布拉格反射镜结构即620nm×15加670nm×3加720nm×3加770nm×3加820nm×3加870nm×3的组合作为红光发光二极管装置的结构。

• 单位
  天津三安光电有限公司; 自动化学院; 天津工业大学