高端精密装备精度测量基础理论与方法

作者：谭久彬; 蒋庄德; 雒建斌; 叶鑫^*; 邾继贵; 刘小康; 刘巍; 李宏伟; 谈宜东; 胡鹏程; 胡春光; 杨凌辉; 赖一楠; 苗鸿雁; 王岐东

来源：中国科学基金, 2022, 36(06): 955-962.

DOI：10.16262/j.cnki.1000-8217.20221019.001

• 精密测量
• 高端精密装备
• 可溯源
• 极限测量
• 多场耦合测量
• 半导体测量
• 大尺寸测量

完整而精确的测量信息获取是装备设计优化、制造过程调控和服役状态保持的基础，是实现重大装备“上水平”“高性能”的内在要素。本文分析了我国高端精密装备精度测量基础理论发展所面临的重大需求挑战，总结了当前高端精密装备制造精度测量理论、方法与技术领域的主要进展，凝炼了该领域未来5～10年的重大关键科学问题，探讨了前沿研究方向和科学基金资助战略。

• 单位
  大连理工大学; 国家自然科学基金委员会; 天津大学; 电子工程学院; 清华大学; 重庆理工大学; 哈尔滨工业大学; 西安交通大学