数值建模在电子级多晶硅制备中的应用

作者：马启坤; 赵桂洁; 宋东明; 陈丽娟; **雄

来源：云南冶金, 2019, 48(03): 65-69.

• 电子级多晶硅
• 还原炉
• 数值建模
• 还原运行曲线

利用化工模拟软件建立还原炉数值模型,通过还原炉炉内在各种条件下的温度场、流场模拟测试,得出最佳的运行工艺参数,形成完整的还原运行曲线。经实践检验,利用模拟工具得出的运行参数有利于电子级多晶硅的制备,建模工作在电子级多晶硅的生产上取得了很好的效果。

• 单位
  云南冶金云芯硅材股份有限公司; 昆明冶金研究院