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摘要
采用激光诱导等离子体辅助烧蚀(LIPAA)法设计了制备表面金属化玻璃实验。该实验运用高精度光学显微镜、扫描电子显微镜对产物的结构与形貌进行表征；用X射线能谱分析仪对金属层中的元素含量及成分组成进行分析；并分别对间隙距离、靶材表面粗糙度及玻璃下表面粗糙度对玻璃表面金属化的影响进行了研究。用LIPAA法对实验进行了验证，结果表明：当间隙距离为80μm时，LIPAA实现的玻璃表面金属层厚度适中且其各元素相对含量处于稳态；同时，铜靶材表面或玻璃后表面粗糙度与金属化时玻璃表面的金属物沉积量及厚度成正比。该实验作为一种新的表面金属化工艺手段，可广泛应用于显示屏幕、光学组件及微流控芯片等领域。
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