一种电磁式微机械振动环陀螺的建模与优化

作者：陈李; 陈德勇; 王军波; 毋正伟; 张明

来源：纳米技术与精密工程, 2009, (03): 233-238.

DOI：10.13494/j.npe.2009.048

• 电磁式微机械陀螺
• 振动环
• 数学建模
• 优化设计 electromagnetic micro-machined gyroscope
• vibrating ring
• mathematical modeling
• optimization design

提出了一种新型的电磁式微机械振动环陀螺结构.为优化陀螺的设计和提高陀螺的性能,在推导微机械陀螺集总参数模型的基础上,建立了电磁式微机械振动环陀螺的数学模型,得到了影响陀螺灵敏度的因素,据此对陀螺参数进行优化设计.采用有限元分析方法和实验测试方法相结合来验证该模型和设计方案的可行性.模型计算结果表明,优化后的陀螺在-200～200(°).s-1的范围内,其机械灵敏度为0.002 3μm/((°).s-1),电学灵敏度为0.062μV/((°).s-1).用有限元模拟得到陀螺机械灵敏度为0.002 9μm/((°).s-1),锁相放大器测试得到微陀螺样机电学灵敏度为0.051μV/((°).s-1...

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所