摘要
利用选区电子衍射法定量表征热解炭涂层的择优取向。采用扫描电镜观察热解炭涂层自然断面的结构形貌特征,并采用透射电镜测定取向角,通过在同一位置改变选区的面积得到不同的衍射图谱,讨论选区面积对取向角的影响。研究结果表明:热解炭涂层主要由球形颗粒状结构组成,颗粒直径为300~1000nm,片层状结构所占体积比很小;热解炭涂层在局部区域(直径为190nm的选区)内的平均取向角为72°,并且球形颗粒内芳香碳平面的择优取向方向平行于颗粒表面;球形颗粒状结构决定了涂层的取向角随着选区面积的增大而增大,而球形颗粒较高的体积比又将进一步导致热解炭涂层整体呈现各向同性。
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单位杭州电子科技大学; 兰州兰飞医疗器械有限公司