多层SAW器件叉指换能器错层布局研究

作者：李志鹏; 孟旭^*; 王博男; 张超

来源：传感器与微系统, 2022, 41(02): 14-20.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)02-0014-03

• 声表面波
• 多层结构
• 叉指换能器
• 错层布局

利用COMSOL软件建立了采用平层叉指换能器(IDT)布局及错层IDT布局的两种多层声表面波(SAW)器件模型,通过有限元法分别计算了两种模型在不同的薄膜层厚度、电极间距条件下的特征频率、机电耦合系数以及导纳比,并将这些结果进行了对比分析。结果表明:采用错层IDT布局的多层SAW器件在保证器件性能的条件下,结构尺寸可以缩小一倍,同时也降低了继续提高多层SAW器件特征频率的难度。

• 单位
  东北林业大学