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电子探针及镀膜仪故障三例与镀膜仪样品架的设计
作者:肖少泉; 姚正学; 吴百一
来源:
电子显微学报
, 2006, S1: 219-220.
镀膜
电子探针
电子光学仪器
规管
真空表
真空计
样品架
油扩散泵
指示灯
信号灯
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