溶胶-凝胶法制备抗激光损伤SiO_2疏水减反射膜

作者：徐耀; 范文浩; 黄祖鑫; 章斌; 吴东; 蒋晓东; 孙予罕; 魏晓峰

来源：强激光与粒子束, 2004, (01): 40-44.

• 溶胶-凝胶
• 疏水性
• 减反射膜
• 二氧化硅
• 激光损伤 Sol-gel
• Hydrophobic
• Anti-reflectiv film
• Silica
• Laser damage

　通过溶胶 凝胶法,在碱性条件下水解缩聚正硅酸乙酯获得含有SiO2颗粒的溶胶;以甲基三乙氧基硅烷在酸性条件下水解缩聚获得双链聚合物溶液,作为疏水基团的引入剂。用两者的混合物在玻璃片上旋转镀膜。利用光子相干光谱法、透射电子显微镜、小角X射线散射等方法研究了溶胶微结构,利用紫外 可见光谱仪和接触角测定仪测量薄膜的透射率和疏水性。单面反射率最低降至0.01%,对水接触角最高为118°。利用Nd:YAG激光(1064nm)测量了薄膜的激光损伤阈值,随混合溶胶中双链聚合物含量的增加损伤阈值减小,但均高于20J/cm2(1ns脉冲)。由于薄膜既保持了纳米氧化硅薄膜的多孔性,又在颗粒及孔表面以甲基修饰,水对...

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 煤转化国家重点实验室; 中国科学院山西煤炭化学研究所