科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
介绍往复式压电微泵20多年的发展概况。给出了往复式压电微泵的各种不同结构、主要性能参数、工作原理、材料和加工技术,为压电微泵的设计和加工提供参考,也提出目前存在的问题、研究的方向及应用前景。
-
单位传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所
介绍往复式压电微泵20多年的发展概况。给出了往复式压电微泵的各种不同结构、主要性能参数、工作原理、材料和加工技术,为压电微泵的设计和加工提供参考,也提出目前存在的问题、研究的方向及应用前景。
