高亮度金刚石薄膜场发射荧光管的制作

作者：高金海; 李桢; 张武勤; 张兵临

来源：光电子技术, 2013, (01): 1-4.

DOI：10.19453/j.cnki.1005-488x.2013.01.001

• 场致发射荧光管
• 类球状微米金刚石聚晶薄膜
• 封装 field emission display
• diamond microcrystalline-aggregate
• package

利用微波等离子化学气相沉积法,制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜作为场发射阴极材料。通过采用低熔点玻璃粉烧结工艺,从器件封装、器件烧结、器件排气和器件烤消等方面进行了探索和创新,实现了场致发射荧光管的高真空封装。综合采用这套技术,已经研发出的真空场致发射荧光管,在5.45V/μm电场下,光的亮度达到了11 000cd/m2。为将来设计制作矩阵寻址场发射平板显示器件奠定了基础。

• 单位
  郑州师范学院