流导可控的AAO分子流漏孔的制作与动态测试

作者：王永健; 于振华; 甘婧; 姜彪; 李明利; 孙立臣; 王旭迪^*

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(04): 288-292.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.04.03

• 分子流
• 流导
• 校准装置
• 漏孔
• 阳极多孔氧化铝

随着分子流漏孔的广泛应用,迫切需要一种制作简单、成本低廉且流导可控的分子流漏孔制作方法。本文基于阳极多孔氧化铝(AAO)模板,利用打孔硅片作为掩膜和支撑材料,制作出不同有效面积的AAO新型分子流漏孔,然后使用自主设计的动态差压法漏孔测量设备,以氮气、氦气和氩气作为测试气体对所制作的直径分别为2和13 mm圆形AAO分子流漏孔流导进行了测量。实验结果表明,漏孔的流导测量值接近理论计算值,流经AAO漏孔的气体始终保持分子流状态,即流导维持不变。AAO分子流漏孔具有制备工艺简单、成本低、流导可控且可预测不同种类气体流导等优点。

• 单位
  北京卫星环境工程研究所; 合肥工业大学