一种利用激光等离子体溅射在玻璃上制备金属电路的方法

作者：梁良; 何林; 林国志; 谭欢恒; 姜治康

来源：2021-03-29, 中国, CN202110331809.2.

本发明提供一种利用激光等离子体溅射在玻璃上制备金属电路的方法,包括：步骤1：将透明玻璃片覆在金属靶材的表面,利用激光进行区域性面积扫描,在透明玻璃片与金属靶材的接触面上溅射一层金属附着层；步骤2：把步骤1得到的透明玻璃片有金属附着层的一面正对激光束入射方向,采用激光束对透明玻璃片有金属附着层的一面进行图案化扫描处理,以得到设计的金属电路部分；步骤3：把步骤2得到的透明玻璃片置于氢气环境中并进行加热处理,得到带有电路图案的透明玻璃片；步骤4：把步骤3得到的带有电路图案的透明玻璃片放在乙醇中清洗,并干燥处理,完成金属电路的制备。本发明方法具有耗时短、成本低、尺寸精度高、参数可控的特点。

• 单位
  华南理工大学