溶胶-凝胶法制备工艺参数对Al_2O_3-SiO_2薄膜质量的影响

作者：同帜; 邹力; 崔双科; 李大川

来源：粉末冶金材料科学与工程, 2012, (06): 818-824.

• 溶胶-凝胶
• Al2O3-SiO2复合薄膜
• 防开裂 sol-gel
• Al2O3-SiO2 composite films
• crack resistance

采用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2复合薄膜,研究溶胶成分、水解反应温度、热处理环境及烧结温度对薄膜质量的影响。通过黏度测试、热重分析仪(TG-DTG)、X射线衍射分析仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对样品进行表征。结果表明,溶胶的组成与热处理过程中的应力不均是导致薄膜开裂的主要原因。当Al2O3:SiO2(mol/mol)=1:3或1:2,水解反应温度为40℃,热处理环境湿度70%,温度60℃,以0.5℃/min的升温速率升至600℃焙烧2 h,缓慢升温且适当保温,可得完好的Al2O3-SiO2复合薄膜,所制备的块状薄膜,无裂缝且均匀透明。

• 单位
  西安工程大学; 陕西省现代建筑设计研究院