多重分形谱研究溶胶-凝胶SiO_2疏水减反膜的激光预处理作用

作者：张磊; 徐耀; 蒋晓东; 梁丽萍; 吕海滨; 李绪平; 魏晓峰; 吴东; 孙予罕

来源：Acta Physica Sinica, 2007, (07): 3833-3838.

• SiO2疏水减反膜
• 激光预处理
• 多重分形谱
• 激光损伤阈值 SiO_2 AR coating
• laser-conditioning
• MFS
• LIDT

采用溶胶-凝胶提拉技术制备了SiO2疏水减反膜.使用Nd:YAG激光(波长为1064nm,脉宽为7.5ns)采用“Ron1”方式对所得膜层进行了激光预处理.在预处理前后采用“1on1”方式考察了薄膜的激光损伤阈值的变化,使用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌的变化,并使用多重分形谱(MFS)方法分析了薄膜分形结构的变化.结果表明经过激光预处理后薄膜的抗激光损伤阈值有了明显提高,均方根表面粗糙度(Rq)稍有减小,膜面变平整,多重分形谱宽度收缩,分形区间的分布均匀性改善.这说明经过激光预处理后薄膜表面微结构趋向规整,使之能够承受更强的激光的辐照.同时也说明借助多重分形谱可以获得更多薄膜表面...

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 中国科学院山西煤炭化学研究所; 煤转化国家重点实验室