电容式加速度计读出电路芯片设计

作者：郭攀; 孔德义; 熊剑平; 朱荣华; 江儒龙; 李庄

来源：仪表技术, 2010, (01): 12-14.

DOI：10.19432/j.cnki.issn1006-2394.2010.01.005

• 电容式加速度计
• 读出电路
• 开关电容积分电路
• 低噪声运放
• 采样保持电路 capacitive accelerometer
• readout circuit
• switched-capacitor integrator circuit
• low noise amplifier
• sample-and-hold circuit

针对实验室的差分电容变化量为fF量级、频带宽度为0~20kHz的电容式加速度计,设计了一种可以有效减少噪声、失调电压和寄生电容影响的读出电路。该电路由开关电容积分电路、低噪声运放和单位增益采样保持电路组成。在0.5μm 2P3MCMOS工艺下完成该电路设计,通过仿真结果表明,该电路的输出电压与差分电容变化量成很好的线性关系,可以检测差分电容变化量达到fF量级。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学技术大学; 中国科学院，合肥智能机械研究所; 中国科学院合肥智能机械研究所