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摘要
本发明涉及多光源并行共焦显微探测系统,包括有多个激光器,多个激光器的出光口处安装有合束器,合束器的出光口前方设有准直透镜,合束器的出光口位于准直透镜一侧的焦点处,准直透镜另一侧设有微透镜阵列,微透镜阵列的光路前方设有分光镜、第一望远物镜和第二望远物镜,分光镜反射面的一侧还设置有面阵CCD；还包括有可移动的工作台,工作台上固定有光栅尺,其位于第二望远物镜的光路上,被测物面放置于工作台上并随工作台一起移动。本发明通过采用多种波长的激光器构建并行共焦探测系统的合成光源,在保证激光并行共焦系统分辨率以及测量速度的前提下,克服了泰伯效应的影响,实现了大量程的高精度测量,从而扩大了并行共焦探测系统的应用范围。
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