微波组件内部多余物控制技术研究

作者：曹向荣; 赵涌; 吴伟伟; 杨宇恺

来源：科技创新与应用, 2018, (08): 50-51.

• 微波组件
• 多余物
• 气相清洗
• PIND

根据微波组件的结构和生产过程,分析了微波组件中多余物的来源,提出了微波组件生产过程的控制措施,研究微波组件气相清洗技术,对清洗效果进行了试验验证,最后分析了微波组件内多余物的检测方法。

• 单位
  上海航天电子通讯设备研究所