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摘要
本发明提出了一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵,旨在提高微泵泵送量,同时降低驱动电压,简化微泵结构,提高微泵在工作时的可靠性,包括上盖板、进口阀、上框架、泵膜、下框架、下盖板和出口阀。上盖板固定在上框架上表面,其上设置有进口阀口,进口阀安装在该阀口的下端,下盖板固定在下框架下表面,其上设置有出口阀口,出口阀安装在该阀口的下端；所述泵膜由第一导电层、第一介质层、第二导电层、驱动电极、第三导电层和第二介质层复合而成,固定在上框架和下框架之间,形成容积可变的泵腔。本发明微泵在低驱动电压下可实现泵腔容积的大变形,响应时间快,同时具有绿色环保的特性,可用于流体微量传送系统中。
- 单位
