纳米金刚石薄膜的制备与应用

作者：孙方宏; 张志明; 沈荷生; 陈明; 郭松寿

来源：机械工程学报, 2007, (03): 118-122.

• 纳米金刚石薄膜
• 硬质合金
• 表面粗糙度
• 复合涂层 Nanocrystalline diamond films
• Cemented tungsten carbide
• Surface roughness
• Composite coatings

采用偏压辅助增强热丝化学气相沉积法(Chemical vapor deposition,CVD),以WC-Co硬质合金为衬底,采用控制沉积参数和添加惰性气体Ar等CVD新工艺,制备性能优良的纳米金刚石薄膜。进一步采用扫描电镜(Scanning electron microscopy,SEM)、原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)、拉曼光谱(Raman spectros- copy)、X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)和高分辨率透射电镜(High-resolution transmission electron microscopy, HR...

• 单位
  上海交通大学; 上海交友钻石涂层有限公司